氣體塵埃粒子計(jì)數(shù)器的校正程序

一． 校正所需設(shè)備

1.100級(jí)潔凈房或潔凈臺(tái)

2. 一臺(tái)用于作對(duì)比，尚在校正期內(nèi)的塵埃粒子計(jì)數(shù)器

3.各粒徑的標(biāo)準(zhǔn)粒子，如0.3um ; 0.5um ; 1um 等等

4.標(biāo)準(zhǔn)粒子氣體產(chǎn)生器，如Model 255

5.可產(chǎn)生脫離水（DI水）的純水系統(tǒng)或類似裝置

6.其它普通電器，如220V電源插座，萬用表等等

二. 校正的基本步驟：

    現(xiàn)假設(shè)對(duì)一臺(tái)常見的粒子計(jì)數(shù)器作校正

1．首先，要清楚產(chǎn)品有何差別，其測試原理一樣流速為1CFM（立方英尺/分鐘） 

2．首先請(qǐng)將潔凈臺(tái)開機(jī)，工作半小時(shí)，其間內(nèi)也打開機(jī)器讓其預(yù)熱半小時(shí)。

3．準(zhǔn)備好255的取樣器管，并搭接好其所有氣體管路。

4． 將配好的標(biāo)準(zhǔn)液（如0.301um）放入脫原子瓶中，注意勿讓液體超過噴嘴。

5．設(shè)置粒子計(jì)數(shù)器的基本參數(shù)

（1） 取樣時(shí)間都設(shè)置為00：01：00

（2） 取樣次數(shù)都設(shè)置03

（3） 取樣模式都設(shè)置為Auto

（4） 間隔時(shí)間都設(shè)置為00：00：05

（5） 讀數(shù)模式都設(shè)置為Cumulative

 注：以上設(shè)置相同，因其流速有10倍差 

6． 此時(shí)，打開255電源，調(diào)節(jié)脫原子氣體閥和干燥氣體閥，在調(diào)至噴嘴閥處呈氣霧出現(xiàn)，干燥氣體流速計(jì)約60SCFH時(shí)后，保持其工作狀態(tài)。

7．此時(shí)機(jī)器工作，看其三次的平均結(jié)果，若在20%以內(nèi)，視為合格。

8．拆下脫原子瓶，重新滴入其它標(biāo)準(zhǔn)粒子，重復(fù)該測試。

9．以上校正只是對(duì)比校正，尚可用萬用表對(duì)其基本參數(shù)測量，用示波器對(duì)其信號(hào)捕捉等來輔助調(diào)校。